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    Selective copper-silicon-nitride layer formation for an improved dielectric film/copper line interface

    Selective copper-silicon-nitride layer formation for an improved dielectric film/copper line interface von Lee, Sang M, Zubkov, Vladimir, Cui, Zhenijiang, Shek, Meiyee, Xia, Li-Qun, M'Saad, Hichem

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    Selective copper-silicon-nitride layer formation for an improved dielectric film/copper line interface

    Selective copper-silicon-nitride layer formation for an improved dielectric film/copper line interface von CUI ZHENIJIANG, SHEK MEIYEE, M'SAAD HI, XIA LI-QUN, LEE SANG M, ZUBKOV VLADIMIR

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    SELECTIVE COPPER-SILICON-NITRIDE LAYER FORMATION FOR AN IMPROVED DIELECTRIC FILM/COPPER LINE INTERFACE

    SELECTIVE COPPER-SILICON-NITRIDE LAYER FORMATION FOR AN IMPROVED DIELECTRIC FILM/COPPER LINE INTERFACE von CUI ZHENIJIANG, SHEK MEIYEE, M'SAAD HI, XIA LI-QUN, LEE SANG M, ZUBKOV VLADIMIR

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