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    Characterization of cobalt annealed on silicon-germanium epilayers

    Characterization of cobalt annealed on silicon-germanium epilayers von Lin, F., Sarcona, G., Hatalis, M.K., Cserhati, A.F., Austin, Eva, Greve, D.W.

    Veröffentlicht in Thin solid films

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    Impurity content, redistribution and interface topography in poly and amorphous silicon based cobalt polycides

    Impurity content, redistribution and interface topography in poly and amorphous silicon based cobalt polycides von Cserhati, A.F., Lucian, V.K., Austin, E.K., Johnson, G.A., Sarmiento, P.D., West, G.A., Magee, C.

    Veröffentlicht in Applied surface science

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