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Anisotropic etching of germanium
Veröffentlicht in Sensors and actuators. A, Physical
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Regrowth behavior of ion-implanted amorphous layers on 〈111〉 silicon
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Ion-beam shadow printing through thin silicon foils using channeling
Veröffentlicht in Applied physics letters
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Micromechanics: A silicon microfabrication technology
Veröffentlicht in Microelectronic engineering
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Disorder produced by high-dose implantation in Si
Veröffentlicht in Applied physics letters
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The early history of solid phase epitaxial growth
Veröffentlicht in Materials chemistry and physics
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Design optimization for cantilever-type accelerometers
Veröffentlicht in Sensors and actuators
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Ion Implantation Gettering of Gold in Silicon
Veröffentlicht in Journal of the Electrochemical Society
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