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Fatigue resistant MEMS apparatus and system
von
Tauscher, Jason B
,
Ellis, Matthew
,
Brown, Dean R
,
Helsel, Mark P
,
Davis, Wyatt O
,
Ma, Yunfei
,
Sherwood, Michael E
,
Coy, John Wyatt
,
Malametz, David
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Fatigue resistant MEMS apparatus and system
von
HELSEL MARK P
,
SHERWOOD MICHAEL E
,
MALAMETZ DAVID
,
TAUSCHER JASON B
,
MA YUNFEI
,
COY JOHN WYATT
,
ELLIS MATTHEW
,
BROWN DEAN R
,
DAVIS WYATT O
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,
SHERWOOD MICHAEL E
,
MALAMETZ DAVID
,
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,
MA YUNFEI
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,
ELLIS MATTHEW
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