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Veröffentlicht in Journal of magnetism and magnetic materials
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Low Consumption Front End of the Line Cleaning: LC-FEOL
Veröffentlicht in Solid state phenomena
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New Aspects of the Diluted Dynamic Clean Process
Veröffentlicht in Solid state phenomena
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Post CMP Cleaning Using a Novel HF Compatible High Power Magasonic Tank
Veröffentlicht in Solid state phenomena
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