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    Analysis of Hardness, Resistivity and Corrosion of HfN Thin Films Fabricated by D.C. Sputtering

    Analysis of Hardness, Resistivity and Corrosion of HfN Thin Films Fabricated by D.C. Sputtering von Courrech Arias, Ayesha, García-González, Leandro, Hernandez Quiroz, Teresa, Hernandez Torres, Julian, Galicia Aguilar, Gonzalo

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    Effect of Substrate Temperature on the Properties of Hafnium Nitride Films Prepared by DC Sputtering

    Effect of Substrate Temperature on the Properties of Hafnium Nitride Films Prepared by DC Sputtering von Vázquez, Cecilia Stephanie Loyo, Hernandez Torres, Julian, Ramírez, Nelly Flores, García-González, Leandro, Peredo, Luis Zamora, Serrano, Andrés Alfonso Rodríguez, Arias, Ayesha Margarita Courrech

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