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Plasma–surface interactions
Veröffentlicht in Journal of vacuum science & technology. A, Vacuum, surfaces, and films
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Recombination coefficients of O and N radicals on stainless steel
Veröffentlicht in Journal of applied physics
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Plasma potentials of 13.56-MHz rf argon glow discharges in a planar system
Veröffentlicht in Journal of applied physics
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Fluorine atom subsurface diffusion and reaction in photoresist
Veröffentlicht in Journal of applied physics
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Heteronuclear and homonuclear surface abstraction reactions of Cl, Br, and F
Veröffentlicht in Journal of applied physics
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