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Demonstration of monolithic co-fabrication of Y(1)Ba(2 )Cu(3)O(7-delta) and CMOS devices on the same sapphire substrate
von
de la Houssaye, P R
,
Burns, M J
,
Ruby, W J
,
Russell, S D
,
Clayaton, S R
,
Garcia, G A
,
Lee, L P
Veröffentlicht in
IEEE transactions on electron devices
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