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Low-energy high flux reactive ion etching by rf magnetron plasma
Veröffentlicht in Applied physics letters
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Al2O3 single crystal growth by electron beam float-zone melting
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Reactive magnetron deposition of transparent conductive films
Veröffentlicht in Thin solid films
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Al 2O 3 single crystal growth by electron beam float-zone melting
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Planungsbüro als lernende Organisation
Veröffentlicht in Zeitschrift für wirtschaftlichen Fabrikbetrieb
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