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    Diffraction gratings fabricated in DLC thin films

    Diffraction gratings fabricated in DLC thin films von Cirino, G.A., Mansano, R.D., Verdonck, P., Jasinevicius, R.G., Neto, L.G.

    Veröffentlicht in Surface & coatings technology

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    End-point detection of polymer etching using Langmuir probes

    End-point detection of polymer etching using Langmuir probes von de Castro, R.M., Verdonck, P., Pisani, M.B., Mansano, R.D., Cirino, G.A., Maciel, H.S., Massi, M.


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