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Electrically-assisted nanoimprint of block copolymers
von
Mayer, Andre
,
Ai, Wenyang
,
Rond, Johannes
,
Staabs, Johannes
,
Steinberg, Christian
,
Papenheim, Marc
,
Scheer, Hella-Christin
,
Tormen, Massimo
,
Cian, Alesandro
,
Zajadacz, Joachim
,
Zimmer, Klaus
Veröffentlicht in
Journal of vacuum science and technology. B, Nanotechnology & microelectronics
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