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Thermally stable fully silicided Hf-silicide metal-gate electrode
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Channel mobility degradation and charge trapping in high-k/metal gate NMOSFETs
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MOS Characteristics of Synthesized HfAlON–HfO $_2$ Stack Using AlN–HfO $_2
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Wet etching characteristics and surface morphology evaluation of MOCVD grown HfO 2 film
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