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Fabrication of Novel MEMS Microgrippers by Deep Reactive Ion Etching With Metal Hard Mask
von
Bagolini, Alvise
,
Ronchin, Sabina
,
Bellutti, Pierluigi
,
Chiste, Matteo
,
Verotti, Matteo
,
Belfiore, Nicola Pio
Veröffentlicht in
Journal of microelectromechanical systems
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