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    A Novel CMOS MEMS Accelerometer with Four Sensing Finger Arrays

    A Novel CMOS MEMS Accelerometer with Four Sensing Finger Arrays von Chih-Mimg Sun, Chuan-Wei Wang, Dong Hang Liu, Lu, M.S.-C., Weileun Fang, Chao-Jui Liang, Hsieh-Shen Hsieh, Tai-Kang Shing


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