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1
Metal doped carbon based hard mask removal in semiconductor fabrication
von
Ghosh, Nikkon
,
Colinjivadi, Karthik S
,
Cheung, David Wingto
,
Yu, Yongsik
,
Ostrowski, Kirk J
,
Tan, Samantha
,
Musselwhite, Nathan
,
Kawaguchi, Mark Naoshi
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Ashing method
von
QIU HUATAN
,
CHEUNG DAVID WINGTO
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반도체 제조시 금속 도핑된 탄소계 하드마스크 제거
von
GHOSH NIKKON
,
KAWAGUCHI MARK NAOSHI
,
COLINJIVADI KARTHIK S
,
MUSSELWHITE NATHAN
,
YU YONGSIK
,
OSTROWSKI KIRK J
,
TAN SAMANTHA
,
CHEUNG DAVID WINGTO
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