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Suchergebnisse - Cheo, Kelvin Koon Lin
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A high-speed MEMS grating laser scanner with a backside thinned grating platform fabricated using a single mask delay etching technique
von
Du, Yu
,
Zhou, Guangya
,
Cheo, Kelvin Koon Lin
,
Zhang, Qingxin
,
Feng, Hanhua
,
Chau, Fook Siong
Veröffentlicht in
Journal of micromechanics and microengineering
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Synchronized laser scanning of multiple beams by MEMS gratings integrated with resonant frequency fine tuning mechanisms
von
Yu Du
,
Guangya Zhou
,
Cheo, K K L
,
Qingxin Zhang
,
Hanhua Feng
,
Fook Siong Chau
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