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Power matching to pulsed inductively coupled plasmas
Veröffentlicht in Journal of applied physics
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Transients using low-high pulsed power in inductively coupled plasmas
Veröffentlicht in Plasma sources science & technology
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Transients using low-high pulsed power in inductively coupled plasmas
Veröffentlicht in Plasma sources science & technology
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Power matching to pulsed inductively coupled plasmas
Veröffentlicht in Journal of applied physics
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