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An Improved 3D OPC Method for the Fabrication of High-Fidelity Micro Fresnel Lenses
Veröffentlicht in Micromachines (Basel)
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Design and Manufacture of Polarization-Independent 3D SOI Vertical Optical Coupler
Veröffentlicht in Micromachines (Basel)
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Source and mask optimizing with a defocus antagonism for process window enhancement
Veröffentlicht in Optics express
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