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Atmospheric Pressure Planar Radio Frequency Discharge With Isolated Electrodes: Glow Features and Application Prospects
von
Bazhenov, Volodymyr Yu
,
Chaplynskyi, Roman Yu
,
Kravchuk, Ruslan M.
,
Kuzmichev, Anatoly I.
,
Tsiolko, Vyacheslav V.
,
Yaroshchuk, Oleg V.
Veröffentlicht in
IEEE transactions on plasma science
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