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Preparation of B–C–N films by magnetron sputtering with different N 2/Ar flow ratio
Veröffentlicht in Vacuum
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Preparation of B-C-N films by magnetron sputtering with different N sub(2/Ar flow ratio)
Veröffentlicht in Vacuum
VolltextArtikel -
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Preparation of B–C–N films by magnetron sputtering with different N2/Ar flow ratio
Veröffentlicht in Vacuum
VolltextArtikel -
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