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    Effect of STI shape and tunneling oxide thinning on cell Vth variation in the flash memory

    Effect of STI shape and tunneling oxide thinning on cell Vth variation in the flash memory von JaiDong Lee, JungHwan Kim, Woong Lee, SangHoon Lee, HunYoung Lim, JaeDuk Lee, SeokWoo Nam, HyeonDeok Lee, ChangLyong Song


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