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Surface Micromachined Pressure Sensor with Internal Substrate Vacuum Cavity
Veröffentlicht in ETRI journal
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Surface Micromachined Pressure Sensor with Substrate Internal Vacuum Cavity
Veröffentlicht in ETRI journal
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Surface Micromachined Pressure Sensor with Internal Substrate Vacuum Cavity
Veröffentlicht in ETRI journal
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MEMS Capacitive Microphone with Dual-Anchored Membrane
Veröffentlicht in Proceedings
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