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    Repetitive control of an XYZ piezo-stage for faster nano-scanning: Numerical simulations and experiments

    Repetitive control of an XYZ piezo-stage for faster nano-scanning: Numerical simulations and experiments von Necipoglu, S., Cebeci, S.A., Basdogan, C., Has, Y.E., Guvenc, L.

    Veröffentlicht in Mechatronics (Oxford)

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