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GaAs epitaxy using alternate pulses in a standard LP-MOVPE reactor
von
Wisser, J.
,
Czuprin, P.
,
Grundmann, D.
,
Balk, P.
,
Waschbüsch, M.
,
Lückerath, R.
,
Richter, W.
Veröffentlicht in
Journal of crystal growth
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GaAs epitaxy using alternate pulses in a standard LP-MOVPE reactor
von
WISSER, J
,
CZUPRIN, P
,
GRUNDMANN, D
,
BALK, P
,
WASCHBÜSCH, M
,
LÜCKERATH, R
,
RICHTER, W
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