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1
Single mask MIM capacitor and resistor with in trench copper drift barrier
von
Rao, Satyavolu Srinivas Papa
,
Crenshaw, Darius Lammont
,
Grunow, Stephan
,
Brennan, Kenneth D
,
Joshi, Somit
,
Leavy, Montray
,
Matz, Phillip D
,
Ajmera, Sameer Kumar
,
Solomentsev, Yuri E
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2
Single mask MIM capacitor and resistor with in trench copper drift barrier
von
BRENNAN KENNETH D
,
SOLOMENTSEV YURI E
,
AJMERA SAMEER KUMAR
,
RAO SATYAVOLU SRINIVAS PAPA
,
CRENSHAW DARIUS LAMMONT
,
LEAVY MONTRAY
,
JOSHI SOMIT
,
GRUNOW STEPHAN
,
MATZ PHILLIP D
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3
Method of fabricating a dynamic random access memory (DRAM) cell capacitor using hemispherical grain (HSG) polysilicon and selective polysilicon etchback
von
CRENSHAW
,
DARIUS LAMMONT
,
WISE
,
RICK L
,
MCKEE
,
JEFFREY
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4
SINGLE MASK MIM CAPACITOR AND RESISTOR WITH IN TRENCH COPPER DRIFT BARRIER
von
BRENNAN, KENNETH, D
,
SOLOMENTSEV, YURI, E
,
RAO, SATYAVOLU, SRINIVAS, PAPA
,
JOSHI, SOMIT
,
LEAVY, MONTRAY
,
GRUNOW, STEPHAN
,
MATZ, PHILLIP, D
,
CRENSHAW, DARIUS, LAMMONT
,
AJMERA, SAMEER, KUMAR
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SINGLE MASK MIM CAPACITOR AND RESISTOR WITH IN TRENCH COPPER DRIFT BARRIER
von
BRENNAN, KENNETH, D
,
SOLOMENTSEV, YURI, E
,
RAO, SATYAVOLU, SRINIVAS, PAPA
,
JOSHI, SOMIT
,
LEAVY, MONTRAY
,
GRUNOW, STEPHAN
,
MATZ, PHILLIP, D
,
CRENSHAW, DARIUS, LAMMONT
,
AJMERA, SAMEER, KUMAR
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Single mask mim capacitor and resistor with in trench copper drift barrier
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BRENNAN, KENNETH D
,
AJMERA, SAMEER KUMAR
,
RAO, SATYAVOLU SRINIVAS PAPA
,
MATZ, PHILLIP D
,
JOSHI, SOMIT
,
CRENSHAW, DARIUS LAMMONT
,
LEAVY, MONTRAY
,
GRUNOW, STEPHAN
,
SOLOMENTSEV, YURI E
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Single mask MIM capacitor and resistor with in trench copper drift barrier
von
BRENNAN, KENNETH D
,
AJMERA, SAMEER KUMAR
,
RAO, SATYAVOLU SRINIVAS PAPA
,
MATZ, PHILLIP D
,
JOSHI, SOMIT
,
CRENSHAW, DARIUS LAMMONT
,
LEAVY, MONTRAY
,
GRUNOW, STEPHAN
,
SOLOMENTSEV, YURI E
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Semiconductor Devices
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Esp@Cenet
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