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    Stabilization of Ni monosilicide thin films in CMOS devices using implantation of ions before silicidation

    Stabilization of Ni monosilicide thin films in CMOS devices using implantation of ions before silicidation von RODBELL KENNETH P, COLE CEDRIK Y, LAVOIE CHRISTIAN, CARRUTHERS ROY A, DETAVERNIER CHRISTOPHE

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    Stabilization of Ni monosilicide thin films in CMOS devices using implantation of ions before silicidation

    Stabilization of Ni monosilicide thin films in CMOS devices using implantation of ions before silicidation von Carruthers, Roy A, Cole, Cedrik Y, Detavernier, Christophe, Lavoie, Christian, Rodbell, Kenneth P

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