-
1
Micro-Scale Chiplets Position Control
Veröffentlicht in Journal of microelectromechanical systems
VolltextArtikel -
2
-
3
Quality factors in micron- and submicron-thick cantilevers
Veröffentlicht in Journal of microelectromechanical systems
VolltextArtikel -
4
High voltage thin film transistors integrated with MEMS
Veröffentlicht in Sensors and actuators. A. Physical.
VolltextArtikel -
5
-
6
-
7
-
8
-
9
-
10
-
11
-
12
-
13
-
14
-
15
-
16
-
17
-
18
Stressed metal probes for atomic force microscopy
Veröffentlicht in Applied physics letters
VolltextArtikel -
19
-
20