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Characterization of low- k dielectric trench surface cleaning after a fluorocarbon etch
Veröffentlicht in Thin solid films
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Post Polysilicon Etch (Incorporating DUV Resist an BARC) Polymer Cleaning
Veröffentlicht in Solid state phenomena
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Occurrence of Arsenic-Based Defects and Techniques for Their Elimination
Veröffentlicht in Solid state phenomena
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Versatile chiral palladium(II) complexes for enantiomeric purities of 1,2-diamines
Veröffentlicht in Tetrahedron: asymmetry
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Angled XPS Analysis of Low-k Dielectric Surfaces after Cleaning
Veröffentlicht in Solid state phenomena
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