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Monocrystalline InN Films Grown at High Rate by Organometallic Vapor Phase Epitaxy with Nitrogen Plasma Activation Supported by Gyrotron Radiation
von
Vodopyanov, Alexander
,
Buzynin, Yurii
,
Mansfeld, Dmitry
,
Khrykin, Oleg
,
Drozdov, Yurii
,
Yunin, Pavel
,
Lukyanov, Andrei
,
Viktorov, Mikhail
,
Golubev, Sergey
,
Shashkin, Vladimir
Veröffentlicht in
Japanese Journal of Applied Physics
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Indium Nitride Film Growth by Metal Organic Chemical Vapor Deposition with Nitrogen Activation in Electron Cyclotron Resonance Discharge Sustained by 24 GHz Gyrotron Radiation
von
Vodopyanov, Alexander
,
Mansfeld, Dmitry
,
Buzynin, Yurii
,
Drozdov, Mikhail
,
Drozdov, Yurii
,
Khrykin, Oleg
,
Lukyanov, Andrei
,
Viktorov, Mikhail
,
Golubev, Sergey
,
Shashkin, Vladimir
Veröffentlicht in
Japanese Journal of Applied Physics
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Institute Of Physics (Iop) Journals - Heal-Link
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Iopscience Extra
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