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    Observation of Metal-Layer Stress on Si Nanowires in Gate-All-Around High- \kappa/Metal-Gate Device Structures

    Observation of Metal-Layer Stress on Si Nanowires in Gate-All-Around High- \kappa/Metal-Gate Device Structures von Singh, N., Fang, W.W., Rustagi, S.C., Budharaju, K.D., Teo, S.H.G., Mohanraj, S., Lo, G.Q., Balasubramanian, N., Kwong, D.-L.

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    Observation of Metal-Layer Stress on Si Nanowires in Gate-All-Around High- [kappa]/Metal-Gate Device Structures

    Observation of Metal-Layer Stress on Si Nanowires in Gate-All-Around High- [kappa]/Metal-Gate Device Structures von Singh, N, Fang, W.W, Rustagi, S.C, Budharaju, K.D, Teo, S.H.G, Mohanraj, S, Lo, G.Q, Balasubramanian, N, Kwong, D.-L

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