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    Key Effects and Process Parameters Extraction on the CD of Reactive Ion Etching (RIE) Based on DOE Modeling

    Key Effects and Process Parameters Extraction on the CD of Reactive Ion Etching (RIE) Based on DOE Modeling von Rizquez, Maria, Roussy, Agnes, Blue, Jakey, Bucelle, Laurent, Pinaton, Jacques, Pasquet, Julien


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