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Investigation of a 1-DOF piezoelectric micro-positioning rotary stage
Veröffentlicht in Precision engineering
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Ultrasonic standing waves-driven high resolution rotary table
Veröffentlicht in Precision engineering
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Research of rotary piezotable driven by two harmonic signals
Veröffentlicht in Mechanika (Kaunas, Lithuania : 1995)
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Investigation of Electrostatic Cantilever-Type Micromechanical Actuator
Veröffentlicht in Solid state phenomena
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