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    Thickness dependence of elastic modulus and hardness of on-wafer low-k ultrathin polytetrafluoroethylene films

    Thickness dependence of elastic modulus and hardness of on-wafer low-k ultrathin polytetrafluoroethylene films von Wang, J, Shi, F.G, Nieh, T.G, Zhao, B, Brongo, M.R, Qu, S, Rosenmayer, T

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