-
1
-
2
-
3
-
4
-
5
-
6
-
7
-
8
-
9
3D simulations of the profile evolution during anisotropic wet etching of silicon
Veröffentlicht in Thin solid films
VolltextArtikel -
10
-
11
-
12
-
13
-
14
-
15
-
16
-
17
-
18
-
19
Modelling of a low-pressure argon breakdown in combined fields
Veröffentlicht in Plasma sources science & technology
VolltextArtikel -
20