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    The application of low-frequency glow discharge to high-rate deposition of a-Si:H

    The application of low-frequency glow discharge to high-rate deposition of a-Si:H von Budaguan, Boris G, A. Popov, Alexander, Sazonov, Andrei Yu, Bosyakov, Mikhail N, Grunsky, Dmitriy I, Zhuk, Dmitriy W


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