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    Investigation of PEALD ZrO2/La2O3-based high-k nanolaminates sandwiched between Al and Ti electrodes for MIM capacitors

    Investigation of PEALD ZrO2/La2O3-based high-k nanolaminates sandwiched between Al and Ti electrodes for MIM capacitors von Patil, Sumit R., Borokar, Vaibhav Y., Rasadujjaman, Md, Zhang, Jing, Ding, Shi J., Mahajan, Ashok M.


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