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Multiarray Micromachined Probe for Turbulence Measurements Assembled of Suspended Hot-Film Sensors
von
Borisenkov, Youry
,
Kholmyansky, Michael
,
Krylov, Slava
,
Liberzon, Alex
,
Tsinober, Arkady
Veröffentlicht in
Journal of microelectromechanical systems
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