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SiGe HBTs on bonded SOI incorporating buried silicide layers
Veröffentlicht in IEEE transactions on electron devices
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Effect of fluorine implantation dose on boron thermal diffusion in silicon
Veröffentlicht in Journal of applied physics
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Strain relaxation phenomena in GexSi1−x/Si strained structures
Veröffentlicht in Thin solid films
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Thick selective epitaxial growth of silicon at 960°C using silane only
Veröffentlicht in Microelectronic engineering
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Diffusion and activation of dopants in silicon and advanced silicon-based materials
Veröffentlicht in Physica scripta
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