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Silicon chip field emission electron source fabricated by laser micromachining
von
Langer, Christoph
,
Bomke, Vitali
,
Hausladen, Matthias
,
Ławrowski, Robert
,
Prommesberger, Christian
,
Bachmann, Michael
,
Schreiner, Rupert
Veröffentlicht in
Journal of vacuum science and technology. B, Nanotechnology & microelectronics
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