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Control of localized access to circuitry through the backside using focused ion beam technology
von
Antoniou, Nicholas
,
Thompson, Mark
,
Salen, Jesse
,
Casey, David
,
Goruganthu, Rama R.
,
Ring, Rose
,
Birdsley, Jeff
,
Gilfeather, Glen
Veröffentlicht in
Journal of Vacuum Science & Technology B: Microelectronics and Nanometer Structures
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Controlled silicon thinning for design debug of C4 packaged ICs
von
Goruganthu, R.R.
,
Bruce, M.
,
Birdsley, J.
,
Bruce, V.
,
Gilfeather, G.
,
Ring, R.
,
Antoniou, N.
,
Salen, J.
,
Thompson, M.
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