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Addressable failure site test structures (AFS-TS) for CMOS processes: Design guidelines, fault simulation, and implementation
von
Doong, K.Y.-Y.
,
Sunnys Hsieh
,
Sheng-Che Lin
,
Binson Shen
,
Jye-Yen Cheng
,
Ding-Ming Kwai
,
Hess, C.
,
Weiland, L.H.
,
Hsu, C.C.H.
Veröffentlicht in
IEEE transactions on semiconductor manufacturing
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2
The short-loop process tuning & yield evaluation by using the addressable failure site test structures (AFS-TS)
von
Yih-Yuh Doong, K.
,
Sunnys Hsieh
,
Sheng-Che Lin
,
Binson Shen
,
Hsu, C.C.-H.
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Addressable failure site test structures (AFS-TS) for CMOS processes: Design guidelines, fault simulation, and implementation
von
DOONG, Kelvin Yih-Yuh
,
HSIEH, Sunnys
,
LIN, Sheng-Che
,
SHEN, Binson
,
CHENG, Jye-Yen
,
KWAI, Ding-Ming
,
HESS, Christopher
,
WEILAND, Larg H
,
HSU, Charles Ching-Hsiang
Veröffentlicht in
IEEE transactions on semiconductor manufacturing
Volltext
Artikel
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4
The role of test structures for yield enhancement and yield ramp-up: an example of adoptive yield enhancement (AYE): n/sup +//p-well junction leakage enhanced the abnormal leakage...
von
Doong, K.Y.Y.
,
Binson Shen
,
Sunnys Hsieh
,
Sheng-che Lin
,
Hsu, C.C.-H.
Volltext
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5
Scaling variance, invariance and prediction of design rule: from 0.25-/spl mu/m to 0.10-/spl mu/m nodes in the era of foundry manufacturing
von
Doong, K.Y.-Y.
,
Ting, J.K.
,
Sunnys Hsieh
,
Lin, S.C.
,
Binson Shen
,
Guo, J.C.
,
Young, K.L.
,
Chen, I.C.
,
Sun, J.Y.C.
,
Wang, J.K.
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