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Functional high-speed characterization and modeling of a six-layer copper wiring structure and performance comparison with aluminum on-chip interconnections
von
Deutsch, A.
,
Harrer, H.
,
Surovic, C.W.
,
Hellner, G.
,
Edelstein, D.C.
,
Goldblatt, R.D.
,
Biery, G.A.
,
Greco, N.A.
,
Foster, D.M.
,
Crabbe, E.
,
Su, L.T.
,
Coteus, P.W.
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2
Integration of copper and fluorosilicate glass for 0.18 /spl mu/m interconnections
von
Barth, E.P.
,
Ivers, T.H.
,
McLaughlin, P.S.
,
McDonald, A.
,
Levine, E.N.
,
Greco, S.E.
,
Fitzsimmons, J.
,
Melville, I.
,
Spooner, T.
,
DeWan, C.
,
Chen, X.
,
Manger, D.
,
Nye, H.
,
McGahay, V.
,
Biery, G.A.
,
Goldblatt, R.D.
,
Chen, T.C.
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3
A high performance 0.13 /spl mu/m copper BEOL technology with low-k dielectric
von
Goldblatt, R.D.
,
Agarwala, B.
,
Anand, M.B.
,
Barth, E.P.
,
Biery, G.A.
,
Chen, Z.G.
,
Cohen, S.
,
Connolly, J.B.
,
Cowley, A.
,
Dalton, T.
,
Das, S.K.
,
Davis, C.R.
,
Deutsch, A.
,
DeWan, C.
,
Edelstein, D.C.
,
Emmi, P.A.
,
Faltermeier, C.G.
,
Fitzsimmons, J.A.
,
Hedrick, J.
,
Heidenreich, J.E.
,
Hu, C.K.
,
Hummel, J.P.
,
Jones, P.
,
Kaltalioglu, E.
,
Kastenmeier, B.E.
,
Krishnan, M.
,
Landers, W.F.
,
Liniger, E.
,
Liu, J.
,
Lustig, N.E.
,
Malhotra, S.
,
Manger, D.K.
,
McGahay, V.
,
Mih, R.
,
Nye, H.A.
,
Purushothaman, S.
,
Rathore, H.A.
,
Seo, S.C.
,
Shaw, T.M.
,
Simon, A.H.
,
Spooner, T.A.
,
Stetter, M.
,
Wachnik, R.A.
,
Ryan, J.G.
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4
Evaluation of a high-performance storage buffer with 3D XPoint devices for the DUNE data acquisition system
von
Abed Abud, Adam
,
Biery, Kurt
,
Chavez, Carlos
,
Ding, Pengfei
,
Flumerfelt, Eric
,
Freeman, John
,
Lehmann Miotto, Giovanna
,
Roda, Marco
,
Rodrigues, Philip
,
Sipos, Roland
,
Thea, Alessandro
,
Viren, Brett
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