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Design optimization & fabrication of micro cantilever for switching application
von
Khushalani, Deepak G.
,
Dubey, Vaibhav R.
,
Bheley, Pratik P.
,
Kalambe, Jayu P.
,
Pande, Rajesh S.
,
Patrikar, Rajendra M.
Veröffentlicht in
Sensors and actuators. A. Physical.
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