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Design, Fabrication, and Characterization of a Rotary Micromotor Supported on Microball Bearings von Ghalichechian, N., Modafe, A., Beyaz, M.I., Ghodssi, R.

Veröffentlicht in Journal of microelectromechanical systems

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Photodiode position sensors for integrated feedback control of a long-range micropositioner von Beyaz, M.I., McCarthy, M., Ghalichechian, N., Ghodssi, R.

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Toward an autonomous electrostatic micromotor: Integrated feedback control von Beyaz, M.I., Ghalichechian, N., Ghodssi, R.

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Measurement and modeling of friction in linear and rotary micromotors supported on microball bearings von Ghalichechian, N., McCarthy, M., Beyaz, M.I., Ghodssi, R.

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A Rotary Micromotor Supported on Microball Bearings von Ghalichechian, N., Modafe, A., Beyaz, M.I., Ghodssi, R.

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A Rotary Microactuator Supported on Encapsulated Microball Bearings using an Electro-Pneumatic Thrust Balance von McCarthy, M., Waits, C.M., Beyaz, M.I., Ghodssi, R.

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