Suchergebnisse - Besling, Willem F A | OPAC THWS

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MEMS oscillating squeeze-film pressure sensor with optoelectronic feedback von Kumar, Lalit, Reimann, Klaus, Goossens, Martijn J, Besling, Willem F A, Dolleman, Robin J, Pijnenburg, Remco H W, van der Avoort, Cas, Sarro, Lina P M, Steeneken, Peter G

Veröffentlicht in Journal of micromechanics and microengineering

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2

Tantalum-based electrode stack von BESLING WILLEM F. A, ROEST AARNOUD L, VAN LEUKEN-PETERS LINDA, REIMANN KLAUS

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TANTALUM-BASED ELECTRODE STACK von BESLING WILLEM F. A, ROEST AARNOUD L, VAN LEUKEN-PETERS LINDA, REIMANN KLAUS

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4

METHOD OF MANUFACTURING A SEMICONDUCTOR DEVICE HAVING A POROUS DIELECTRIC LAYER AND AIR GAPS von MUTSAERS, CORNELIS, A., H., A, GRAVESTEIJN, DIRK, J, BESLING, WILLEM, F., A

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5

METHOD OF MANUFACTURING A SEMICONDUCTOR DEVICE HAVING A POROUS DIELECTRIC LAYER AND AIR GAPS von MUTSAERS, CORNELIS, A., H., A, GRAVESTEIJN, DIRK, J, BESLING, WILLEM, F., A

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