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Thermally excited silicon microactuators
Veröffentlicht in IEEE transactions on electron devices
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A monitoring instrument with capacitive porous silicon humidity sensors
Veröffentlicht in Smart materials and structures
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NH4Oh-based etchants for silicon micromachining
Veröffentlicht in Sensors and actuators. A. Physical.
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Design and fabrication of a thermal infrared emitter
Veröffentlicht in Sensors and actuators. A. Physical.
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Numb chin syndrome: a rare and often overlooked symptom
Veröffentlicht in Journal of oral & facial pain and headache
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Permanent magnet micromotors on silicon substrates
Veröffentlicht in Journal of microelectromechanical systems
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