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    Hardness and stiffness of amorphous SiCxNy chemical vapor deposited coatings

    Hardness and stiffness of amorphous SiCxNy chemical vapor deposited coatings von BENDEDDOUCHE, A, BERJOAN, R, BECHE, E, HILLEL, R

    Veröffentlicht in Surface & coatings technology

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    Hardness and stiffness of amorphous SiC xN y chemical vapor deposited coatings

    Hardness and stiffness of amorphous SiC xN y chemical vapor deposited coatings von Bendeddouche, Abderrahim, Berjoan, René, Bêche, Eric, Hillel, Roger

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