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1
Method and experimental arrangement for Al thin film deposition from r.f. metal plasma with simultaneous self-ion bombardment
von
Mohnjuk, A.A
,
Gusev, I.V
,
Belevsky, V.P
Veröffentlicht in
Nuclear instruments & methods in physics research. Section B, Beam interactions with materials and atoms
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2
Formation of titanium silicides by titanium deposition onto silicon with simultaneous self-ion bombardment
von
GUSEV, I. V
,
CHAPLJUK, V. I
,
BELEVSKY, V. P
Veröffentlicht in
Thin solid films
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Artikel
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3
Some particular features of the condensation process, structure and properties of thin metal films caused by self-ion bombardment
von
Gusev, I.V.
,
Mohnjuk, A.A.
,
Chapljuk, V.I.
,
Belevsky, V.P.
Veröffentlicht in
Applied surface science
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Applied Surface Science
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Nuclear Instruments & Methods In Physics Research. Section B, Beam Interactions With Materials And Atoms
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Ion Bombardment
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Materials Science, Multidisciplinary
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Sd College Edition Journals Collection - Physical Sciences [Scps]
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