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(Invited) Supercritical Drying: A Sustainable Solution to Pattern Collapse of High-Aspect-Ratio and Low-Mechanical-Strength Device Structures
von
Chen, Han-Wen
,
Verhaverbeke, Steven
,
Gouk, Roman
,
Leschkies, Kurtis
,
Sun, Shiyu
,
Bekiaris, Nikos
,
Visser, Robert J.
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ECS transactions
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Etch process optimization and electrical improvement in TiN hard mask ultra-low k interconnection
von
Chih-Yang Chang
,
Sean Kang
,
Kao, C. L.
,
Bekiaris, N.
,
Chi Ching
,
Pu, B.
,
Lill, T.
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Tagungsbericht
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A Big Data Application for Low Emission Heavy Duty Vehicles
von
Dimokas, Nikos
,
Margaritis, Dimitris
,
Gaetani, Manuel
,
Koprubasi, Kerem
,
Bekiaris, Evangelos
Veröffentlicht in
Transport and telecommunication
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Adaptive transitions for automation in cars, trucks, buses and motorcycles
von
Diederichs, Frederik
,
Knauss, Alessia
,
Wilbrink, Marc
,
Lilis, Yannis
,
Chrysochoou, Evangelia
,
Anund, Anna
,
Bekiaris, Evangelos
,
Nikolaou, Stella
,
Finér, Svitlana
,
Zanovello, Luca
,
Maroudis, Pantelis
,
Krupenia, Stas
,
Absér, Andreas
,
Dimokas, Nikos
,
Apoy, Camilla
,
Karlsson, Johan
,
Larsson, Annika
,
Zidianakis, Emmanouil
,
Efa, Alexander
,
Widlroither, Harald
,
Dai, Mengnuo
,
Teichmann, Daniel
,
Sanatnama, Hamid
,
Wendemuth, Andreas
,
Bischoff, Sven
Veröffentlicht in
IET intelligent transport systems
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Proquest One Community College
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Ingentaconnect
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Sciendo
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Iop Publishing Journals
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Walter De Gruyter: Open Access Journals
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Web Of Science
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