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    A silicon flow sensor for gases and liquids using AC measurements

    A silicon flow sensor for gases and liquids using AC measurements von Bedö, Gerlinde, Fannasch, Heike, Müller, Rudolf


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    Comparison of different micromechanical vacuum sensors

    Comparison of different micromechanical vacuum sensors von Bedö, Gerlinde, Kraus, Werner, Müller, Rudolf


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